怎么理解質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標準升)來(lái)表示。這意味著(zhù),這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位(Kg/min), 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。
流量積算儀使用注意事項
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流量積算儀常見(jiàn)故障及解決
流量積算儀量值與實(shí)際相差較大這時(shí)要認真檢查儀表的設置參數是否正確,從流量積算儀的測量介質(zhì)、補償方式到各種參數一一檢查,然后看每一種信號輸入是否正常。瞬時(shí)量跑大數在現場(chǎng)運行中,筆者曾遇到某品牌流量積算儀兩次跑大數情況,都是斷電后剛恢復的瞬間,過(guò)一會(huì )自動(dòng)正常。因此,要盡量保證儀表正常供電。